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基于PN結(jié)級(jí)聯(lián)的高效多晶硅光源實(shí)現(xiàn)
中國(guó)科技網(wǎng)·科技日?qǐng)?bào)訊（陶玉祥 記者盛利）記者日前從電子科技大學(xué)獲悉，該校徐開(kāi)凱課題組借助標(biāo)準(zhǔn)硅IC工藝研制出單片集成的全硅發(fā)光器件，實(shí)現(xiàn)基于PN結(jié)級(jí)聯(lián)的高效多晶硅光源，在全硅半導(dǎo)體光電器件與集成技術(shù)領(lǐng)域取得新突破，為我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。
近年來(lái)，硅基光電集成回路（OEIC）愈發(fā)受到重視，但在保證光源制造工藝兼容現(xiàn)有集成電路工藝的同時(shí)，如何提高硅基光源的量子效率一直是該領(lǐng)域研究重心。科學(xué)家們已發(fā)現(xiàn)，利用硅基光電子器件與CMOS（互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體）工藝兼容這一獨(dú)特優(yōu)勢(shì)，正令光電子器件的大規(guī)模集成成為可能。
“芯片級(jí)硅基光電子集成技術(shù)，具有體積小、功耗低、穩(wěn)定性高、成本低等特點(diǎn)，是當(dāng)今半導(dǎo)體光電器件與集成技術(shù)中最有前景的主流技術(shù)之一。”?電子科技大學(xué)全硅半導(dǎo)體光電器件與集成技術(shù)研究小組相關(guān)負(fù)責(zé)人說(shuō)，依托電子薄膜與集成器件國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室等，與中國(guó)電子科技集團(tuán)重慶聲光電有限公司等單位合作，嘗試通過(guò)引入多晶硅材料全面替代單晶硅材料，載流子注入工程與器件結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)優(yōu)勢(shì)互補(bǔ)，實(shí)現(xiàn)了一種相對(duì)高效的多晶硅光源，其PN結(jié)級(jí)聯(lián)之器件結(jié)構(gòu)也為實(shí)現(xiàn)高頻調(diào)制奠定了技術(shù)基礎(chǔ)。基于上述研究，課題組趙建明及研究團(tuán)隊(duì)同學(xué)。還實(shí)現(xiàn)了基于PN結(jié)結(jié)構(gòu)之載流子注入回路，這一基于硅傳感器的載流子注入之電光回路未來(lái)有望應(yīng)用于包括激光雷達(dá)、毫米波雷達(dá)等在內(nèi)的諸多感知設(shè)備中。日前，相關(guān)成果已由課題組成員以第一作者發(fā)表在Optical?Materials（光學(xué)材料）上。
